BALLUFF接近傳感器BES 516-300-S180-S49

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由于G和ρ均為恒定（對(duì)于一定的波導(dǎo)管來說）的，所以傳播速度也恒定。
。當(dāng)它傳到波導(dǎo)鋼絲一端的波檢測(cè)器時(shí)被轉(zhuǎn)換成電信號(hào)ua·通過測(cè)量磁致旋轉(zhuǎn)
波從位置磁鐵傳到波檢測(cè)器的時(shí)間tL就能確定位置磁鐵和波
檢測(cè)器之間的距離。這樣，當(dāng)部件A和B產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，
通過磁致旋轉(zhuǎn)波位移傳感器就可以確定部件A的位置和速度。
為了給傳感器系統(tǒng)進(jìn)行定標(biāo)，搭建了測(cè)試平臺(tái)。測(cè)試平臺(tái)由傳感器主
體、位置磁鐵、螺旋測(cè)微器、印制電路板、LCD、FDPS-50BA型電源（輸人220V，輸出±15V,5 V)組成。在搭建的平臺(tái)上面對(duì)傳感器的進(jìn)行測(cè)量，主要包括傳感器的線性度，遲滯和重復(fù)性。
測(cè)量：在傳感器測(cè)量整個(gè)0～80mm范圍內(nèi)，旋動(dòng)螺旋測(cè)微器分別每隔5m
m記一組數(shù)據(jù)，位置磁鐵相應(yīng)移動(dòng)，連續(xù)取測(cè)量數(shù)據(jù)20組，如圖3。
式中：el為非線性誤差（線性度）；△max為Z大非線性誤差；
從圖3可知，采用Z小二乘法擬合直線的斜率為0.992，直線方程為Y =
0.15784+0. 992X，因此在0~80 mm范圍內(nèi)的線性度為0.387%。
將螺旋測(cè)微器在傳感器的正反兩個(gè)方向量程內(nèi)來回移動(dòng)，測(cè)量范圍為0～80mm，
測(cè)到的數(shù)據(jù)如圖4。其中有正向測(cè)量和反向測(cè)量數(shù)值（每隔5mm測(cè)量
1圖5是傳感器在正行程和反行程測(cè)量各測(cè)2的數(shù)據(jù)，其中還計(jì)算了重復(fù)性偏差。
根據(jù)式（2）可計(jì)算出0～80mm滿量程的重復(fù)性誤差指標(biāo)el=±0.287%.。
經(jīng)過測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試，移動(dòng)螺旋測(cè)微器±0.056mm，傳感器LCD顯示值改變±0.056mm。
在測(cè)試時(shí)，將傳感器設(shè)定在一固定點(diǎn)，然后分別在4h讀取數(shù)據(jù)1，測(cè)得值分別為
31.62 mm, 31.56 mm, 31.56nm, 31.62mm。穩(wěn)定性誤差為0.06mm。
傳感器通、斷電幾后在此位置讀數(shù)，仍舊為31.62，驗(yàn)證了磁致伸縮傳感器不受掉電影響。
溫度穩(wěn)定性是指?jìng)鞲衅髟谕饨鐪囟茸兓螺敵隽堪l(fā)生的變化。測(cè)量傳感器溫度穩(wěn)定
性時(shí)，分別在房間溫度為15℃和室外溫度為1℃測(cè)量，讀數(shù)變化為0.06 m，即溫度穩(wěn)定性誤差為0.06 mm。

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